光学薄膜厚度测量仪
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01-21
2025
产品简介
光学薄膜厚度测量仪是一种非接触式高精度测量仪器。该仪器基于白光干涉原理，采用全光谱拟合、非线性拟合等多种高精度算法对反射光谱强度曲线进行深入拟合分析，精确获得薄膜厚度以及薄膜材料光学常数等测量信息，在纳米级测量领域具有显著优势，其厚度测量误差为±0.4%，测量精度可达埃级。该仪器结构设计紧凑，操作简单，测量速度快，可广泛用于半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜和生物医学等领域。
技术参数
| 测量光谱范围 | 200nm-1100nm |
| 可测厚度 | 50nm-1μm |
| 准确度（测量误差） | ±0.4% |
| 精度 | 0.02nm |
| 入射角 | 90° |
| 检测折射率 | 可测（包括未知n、k系数样品） |
| 光斑尺寸 | 100μm |
| 可测材质 | 透明或半透明 |
| 测量模式 | 单点测量 |
| 外部接口 | 电源插座、type-B、光纤输入口、光纤输出口 |
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